Theo đó, cụm công nghiệp Canh Nậu có quy mô 10,7ha nằm tại xã Canh Nậu. Tính chất, chức năng của cụm công nghiệp: tiểu thủ công nghiệp, chế biến lâm sản và ngành cơ kim khí, sản xuất đồ gỗ gia dụng.

Cụm công nghiệp Cơ kim khí Phùng Xá có quy mô 18,73ha nằm tại xã Phùng Xá. Tính chất, chức năng của cụm công nghiệp: phát triển công nghiệp, tiểu thủ công nghiệp ngành cơ kim khí.

Cụm công nghiệp Bình Phú 1 có quy mô 14,71ha nằm tại xã Bình Phú. Tính chất, chức năng của cụm công nghiệp: sản xuất đồ mộc, phát triển công nghiệp, tiểu thủ công nghiệp ngành cơ kim khí.

Cụm công nghiệp Chàng Sơn có quy mô 10,7ha nằm tại xã Chàng Sơn. Tính chất, chức năng của cụm công nghiệp: sản xuất đồ gỗ, thủ công mỹ nghệ cao cấp, chế biến lâm sản.

Cụm công nghiệp Kim Quan có quy mô 10,7ha, nằm tại Kim Quan. Tính chất, chức năng của cụm công nghiệp: phát triển công nghiệp, tiểu thủ công nghiệp sản xuất đồ mộc.

5 cụm công nghiệp do Ban Quản lý dự án đầu tư xây dựng huyện Thạch Thất làm chủ đầu tư. UBND thành phố yêu cầu Ban Quản lý dự án đầu tư xây dựng huyện Thạch Thất thực hiện đúng quy định tại Điều 20, 21 Nghị định số 68/2017/NĐ-CP ngày 25.5.2017 của Chính phủ về quản lý, phát triển cụm công nghiệp. 

UBND huyện Thạch Thất thực hiện nhiệm vụ quản lý nhà nước với các cụm công nghiệp theo Điều 44 Nghị định số 68/2017/NĐ-CP.